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EDWARDS iXH645H是英国爱德华推出的iXH系列半导体专用干式真空泵，专为严苛的半导体、LED及化合物半导体制程设计，是300mm半导体工厂和平板显示产线的主流选用设备之一。广泛应用于半导体单晶拉晶、刻蚀、CVD、原子层沉积（ALD），LED MOCVD工艺，光伏、锂电池真空制程，以及高校和科研机构的高真空实验场景。
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1.爪式转子，排粉尘能力优异
2.强大的抽H2能力
3.球磨铸铁材料+氮气吹扫稀释， 可有效抑制HCl腐蚀
4.内部5级压缩，高温设定，有 效防止副产物烷烃类、Si-ClC聚合物冷凝卡泵
主要规格：
