半导体干泵

真空创新的全球标杆

半导体、平板显示器（FPD）、LED及太阳能等高科技制造行业用什么真空泵？

Edwards iXM系列。

iXM系列适用半导体行业的原因？‌
iXM系列专为半导体蚀刻、化学气相沉积（CVD）等严苛工艺设计，能够稳定处理有毒、腐蚀性气体，并有效应对制程中产生的固态副产物，保障设备长期运行可靠性。

iXM系列适用‌平板显示器（FPD）生产行业的原因？‌
在大尺寸基板制造中，iXM可支持高气体流量抽排，提升生产吞吐量，同时降低功耗与占地面积，适合集成到多腔室工艺平台中。

iXM系列适用‌LED与太阳能电池制造的原因？‌
这些领域对真空系统的洁净度要求极高，iXM作为干式泵，无油污染风险，确保薄膜沉积质量，同时具备良好的能效表现。

iXM系列——低能耗，高性能

Edwards iXM 低能耗系列干泵能够带来真正的工艺改进，提升运行时间、减少环境影响并为您的关键应用带来成本效益。

· 节能根机制可将输入功率降低高达60%，减少环境影响并降低拥有成本

· 气体屏障技术和热设计改进使耐腐蚀性能比我们之前系列高出4倍

· 先进的粉末处理特性为多层蚀刻工艺提供最大可靠性和延长泵寿命

· 降低CVD工艺的功耗

· 紧凑轻便的设计，加上极低的噪音和振动，赋予你更多的多功能性

· iXM系列配备XCEDE技术，增强耐腐蚀性能。

iXM系列参数参考？

· ‌真空度‌：iXM系列属于干式螺杆泵，极限真空可达 ‌0.001 mbar（即10⁻³ Pa）以下‌，满足高真空工艺需求。

· ‌抽速范围‌：根据型号不同，抽速覆盖广泛，典型型号抽速可达 ‌180–600 m³/h‌，适用于中大型腔体的快速抽真空。

· ‌节能优势‌：相比传统泵型，iXM系列功率消耗减少高达60%，并支持“绿色模式”，在待机时进一步降低能耗。

此外，该系列泵具备长维护周期（部分型号可达五年免保养），适合连续运行的产线环境，显著降低运维成本。