排气口

G 1/4"/DN16/DN25

进气口

DN40/DN 63 ISO-K/ISO-KF/CF-F

轴承

混合动力

氩气压缩比

1 · 10¹¹

氢气压缩比

1 · 10⁴

氦气压缩比

2 · 10⁵

氮气压缩比

1 · 10¹¹

冷却方式

风冷（自然对流）

最大电流

5.6 A

电子驱动装置

TC 80

声压级（EN ISO 2151）

≤48 dB(A)

极限压力

1 · 10⁻⁷ hPa(mbar)

适用于氮气的最大前级真空

20 hPa(mbar)

最终转速下的氩气气体流量

0.33 hPa·l/s

最终转速下的氮气气体流量

3.2 hPa·l/s

输入 / 输出接口

RS485，远程

输入电压

24 V DC (±10%)

整体泄漏率

2 · 10⁻⁸ Pa m³/s

安装方向

任意

允许的最大径向磁场

5 mT

电源位置

外接电源

最大功耗

110 W

防护等级

IP54 类型 12

抽速

72 – 115 m³/h

氩气抽速

31 l/s

氢气抽速

24 l/s

氦气抽速

30 l/s

氮气抽速

32 l/s

可调转速

50 – 100%

转速 ±2 %

90,000 min⁻¹

启动时间

65 秒

电子驱动装置安装类型

集成式电子驱动装置

排气连接

G 1/8''

重量

1.5 kg

冷却方式，可选

水冷、风冷（强制对流）

冷却水流速

75 l/h

冷却水温度

5 – 25 °C

最终转速下的氢气气体流量

20 hPa·l/s

最终转速下的氦气气体流量

7.4 hPa·l/s

全转速下的氩气气体流量，短期

3 hPa·l/s

全转速下的氢气气体流量，短期

20 hPa·l/s

全转速下的氦气气体流量，短期

12.5 hPa·l/s

全转速下的氮气气体流量，短期

7.5 hPa·l/s

允许的最大轴向磁场

23 mT

尺寸（Ø x H）

86 x 106.4 mm