适用于严苛车间应用的新一代平台

Ganymede 基于完全重新设计的平台，具有高效的动力传动系统、广泛的传感器网络和新型泵送机构，可在苛刻的车间环境中实现可靠性和控制能力。Ganymede 提供更低的总拥有成本 (TCoO) 、预测性智能和稳定的运行， 旨在支持更智能、更可持续的半导体生产。

专为具挑战性的半导体工艺而设计

PECVD、ALD、PEALD、SACVD、LPCVD、外延生长

Ganymede 可耐受具有挑战性的化学品和副产品：

粉末 - 高扭矩动力总成和智能粉末管理可移动重型粉末负载，基本没有非常高的能耗。

冷凝物 - 温度曲线管理可最大限度地减少精密组件上的沉积。