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商品描述
EPX180NE 干泵 400V LAM TIM 3/8 水接头
A41944514
新的紧凑型 EPX180 高真空干泵的特性是：工作性能更佳，运行成本更低。 EPX180 使用了独特的专利保护机械装置，能够从大气压抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的极限压力。
EPX NE 系列的泵具有一个最终用户控制器 (EUC)。 通过最终用户控制器可以实现独立使用的本地控制，并能够连接到各种结构的网络，以进行远程控制和监视。
应用
EPX 系列涵盖广泛的应用，从水处理到中度工作负载的制程。
EPX“N”系列包括一个可提供氮清洗的气体模块，从而可将应用范围扩大为中等制程，在这类制程中预期存在的腐蚀性蒸汽和微粒的程度较低。
特性和优点
紧凑的占地面积 – 作为可用的最小工具上泵之一，EPX 显著节省了占地面积。EPX 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和安装成本，如果需要也可远程安装。
低运行成本 - EPX 仅需要 1.4 kW 的功率和整合空闲模式，从而可最大化功率效率。
独特的专利保护机械装置 – EPX 可以从大气压抽空到涡轮分子基准压力，并可以在所有进气口压力下连续工作。
超清洁机械装置 – 传统的高真空轴承底油脂使用油脂润滑，这可能成为制程工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承底油脂，并且不存在任何其他的潜在污染源。
非常可靠 – EPX 基于经过现场验证的 IPX 技术，具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，大约每 5 年维修一次，最大程度地延长了泵的使用寿命。
可兼容的网络 - EPX 系列配有最终用户控制，可以连接到各种结构的网络，以进行诊断监视和控制。
技术数据
性能
尺寸
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- 小型湿/千泵
- nXDS 滚轴泵|nXLi 干泵|nXRi 干式真空泵|XDS 涡旋泵|E2M0.7 和 1.5 油封旋片泵|RV 旋片泵|EM18 和 28 油封旋片泵|小型 ATEX 扩散泵|隔膜泵|隔音罩
- 测量和控制
- TIC 仪表控制器|有源数字压力表|Barocel 电容压力计|Profibus 通信模块|ADC 有源数字控制器|APG100 有源皮拉尼真空计|APGX-H 有源线性对流真空计|ATC 有源热电偶压力表|ASG 有源应变真空计|AIM 有源倒磁控管真空计|WRG 有源宽量程真空计|AIGX 有源离子真空计|IGC 离子真空计控制器|1575 型压力显示屏|CG16K 膜盒度盘式真空计|IS16K 真空联锁开关|VS16K 可调真空开关|Gascheck 检漏仪
- 真空阀
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